Agilent Technologies X3500-64000

Felhasználói Kézikönyv
A TwisTorr 304 FS használata
11
TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01 165/304
A TwisTorr 304 FS használata
A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást
megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést
használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet!
A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet
melegíteni. A vákuumkamra esetleges felmelegítése során a bemeneti
nyjlásnál mért hőmérséklet nem lehet magasabb, mint 120 °C
ConFlat típusú illesztőperem esetén, illetve a 80 °C hőmérsékletet
ISO illesztőperem esetén. Mindig alkalmazzon vízhűtést a melegítés
során!
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
FIGYELEM!
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd r
észektől mentes levegőt
vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő
nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). A
partikulátumot vagy agresszív szennyeződést tartalmazó gázok szivattyúzásához
ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges porttal (integrált
purge/vent), amelyen keresztül a szivattyú csapágyainak védelmére közömbös
gázt (pl. nitrogén, hélium, argon) kell bevezetni (lásd “Technical Information”
függelék).
FIGYELEM!
Soha ne használja a szivattyút olyan maró gázok vagy gőzök jelenlétében,
amelyek a szivattyú belsejében lévő anyagokat károsíthatják.