Agilent Technologies X3500-64000

15
Priročnik za Navodila
Uporaba črpalke TwisTorr 304 FS
220/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01
Uporaba črpalke TwisTorr 304 FS
Vsa navodila za pravilno delovanje turbočrpalke se nahajajo v
priročniku kontrolne enote. Pazljivo preberite ta priročnik pred
uporabo.
Za dosego boljših mejnih pritiskov je možno segreti sistem.
Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in 80
stopinj C s prirobnicami ISO. Vedno morate uporabiti vodno hlajenje
med segrevanjem!
SVARILO!
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na
vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne
dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
POZOR!
Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom
delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo.
Za prezračevanje črpalke uporabite zrak
ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2
bara (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje plinov z agresivnimi delci ali
onesnaževali so te črpalke opremljene s posebnim (vgrajenim
odvodnim/odzračevalnim) priključkom, ki omogoča stalen dovod inertnega plina
(dušik, helij ali argon) za zaščito ležajev črpalke (glej prilogo “Technical
Information”).
POZOR!
Nikoli ne uporabljajte črpalke v primeru jedkih plinov ali hlapov, ki lahko
poškodujejo notranje strukture črpalke.