Brooks ATM 300 - Page 6

Atmospheric Single-Arm Robot Contents
User’s Manual
Brooks Automation
Revision 1
iii
Isopropyl Alcohol Safety Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-31
MSDSs for C Grease. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-32
MSDS for LG 2 Grease. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-34
MSDS for Braycote 803 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-36
Installation
Site Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Space . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Environmental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Facilities Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-4
Unpacking Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-4
Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Tools and Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Mounting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-6
Moving the Robot or Robotic system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-7
Attaching the Robot to the Frame . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-8
Leveling the Robot. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-8
Connecting the Robot and Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-11
Overcurrent Protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-12
Facilities Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-13
Communication Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-14
Connecting the Teach Pendant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-15
Installing the EQT 32 Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-16
Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-18
Verifing Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-18
Adjusting the Vacuum Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-19
Verifying Vacuum Sensor Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-19
Safety Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-20
Teaching and Operating . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-21
Robot Axis and Station Naming Conventions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-21
Check-out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-23
Alignment and Calibration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-24
Subsystems
System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
Smart Controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-3
Wafer Pre-Aligner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-3
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