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Inficon Micro GC 3000A - Page 123

Inficon Micro GC 3000A
165 pages
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Micro GC 3000A Operating Manual
交換・保守手順
GC モジュールの取り外しと交換
注意
この作業では、ユニットの内部部品がむき出しになります。ユニットが破損し
ないように、電源スイッチを切り、ユニットに接続されている外部電源をす
べて切断します。
静電気によって電子部品が破損することがあります。機器が破損しないよう
に、アースの付いたリストストラップを着用します。使い捨てのリストスト
ラップが用意されています。
1.
2.
トップカバーを取り外します。詳細については、116 ページの「カバーの
取り外し」を参照してください。
マニホールドカバープレートのつまみねじを緩めて、取り外します
2 本ねじ仕様の場合は、マニホールドカバープレートを GC モジュー
ルの方向にずらし、カバープレートのフックをシャーシのつまみか
ら外します。
つまみねじを緩める
マニホールドカバープレート
3 本ねじ仕様
つまみねじを緩める
マニホールド
カバープレート
2 本ねじ仕様
44. つまみねじを緩め、マニホールドカバープレートを取り外す
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