Inficon Micro GC 3000A - ガス供給源の圧力の設定とリークの確認

Micro GC 3000A Operating Manual
インストール
ガス供給源の圧力の設定とリークの確認
ガス供給源の圧力の設定とリークの確認
すべての外部接続をチェックして、リークがないことを確認します。
キャリアガス
ヘリウム *
水素 **
アルゴン
窒素
必要な圧力
552 ± 14 kPa (80 ± 2 psi)
552 ± 14 kPa (80 ± 2 psi)
552 ± 14 kPa (80 ± 2 psi)
552 ± 14 kPa (80 ± 2 psi)
* チェックアウトに必須
** マイクロ GC ポータブルの内蔵キャリアガスボンベには、決して
水素を充填しないでください。
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