Inficon Micro GC 3000A - Page 125

Micro GC 3000A Operating Manual
交換・保守手順
GC モジュールの取り外しと交換
5.
GC モジュールの後部にあるマニホールド継手のねじを緩めます。
マイクロ GC の後部
マニホールド継手
のねじ
ねじを
緩める
2-チャンネル機器
その他は同じです。
図 47. GC モジュールのガングブロックの取り外し
注入マニホールド継手を GC モジュール入力継手から取り外します。
チャンネル A チャンネル B
6.
GC モジュール
注入マニホールド
注入口を取り外す
継手
2-チャンネル機器チャンネル機器
他の場合も同様です。
図 48. 注入口継手の取り外し
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