Inficon Micro GC 3000A - Page 130

Micro GC 3000A Operating Manual
交換・保守手順
GC モジュールの取り外しと交換
3.
GC モジュールの取り付けフランジ継手を検査し、交換用 GC モジュール
の新しい O リングがすべて破損がなく、たわみがない状態で装着されて
いることを確認します。
取り付けフランジ
O リングの装着を確認する
ガングブロックの上半分
図 55.
4.
5.
新しい O- リングの検査
GC モジュール注入口継手の保護キャップを取り外します。
前部が注入マニホールドフレームの口部の下の所定の場所に収まり、モ
ジュール入力継手が注入マニホールドの Swagelok 継手と結合するまで
GC モジュールの後部を降ろします ( 図 56 を参照 )。
所定の場所まで GC モジュールを前方にずらします。
6.
130