Inficon Micro GC 3000A - Page 149

Micro GC 3000A Operating Manual
交換・保守手順
アクセサリの交換手順
4.
フィルタアッセンブリの底面の 1/16- インチチューブを取り外し、次に
フィルタの底部ナットを取り外します。
ヒーターブロックから取り外す
7-µm フィルタ
ナットを取り外す
1/16 インチチューブを取り外す
図 75.
5.
6.
7 m フィルタの交換
ヒーターブロックからフィルタを取り外します。
トラップを 2 つに分解し、フィルタユニットを交換します。
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