MKS 356 Micro-Ion Plus Series User Manual

Contents
6 Micro-Ion
®
Module Instruction Manual - 356007-GP
Chapter 4 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
4.1 Customer Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
4.2 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
4.3 Micro-Ion Gauge Continuity Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
4.4 Replacing the Gauge Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
4.5 Returning a Micro-Ion Module for Service . . . . . . . . . . . . . 66
Appendix A Filament Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
Index . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

MKS 356 Micro-Ion Plus Series Specifications

General

Brand	MKS
Model	356 Micro-Ion Plus Series
Category	Control Unit
Language	English