MKS 356 Micro-Ion Plus Series User Manual

Micro-Ion
®
Module Instruction Manual - 356007-GP 5
Contents
Chapter 1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.1 About These Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.2 Caution and Warning Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.3 System Grounding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4 Explosion / Implosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.5 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.6 Reading and Following Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.7 Customer Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.8 Definitions of Terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.9 Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Chapter 2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.1 Module Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2 Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
Step 1 Install Pressure Relief Devices . . . . . . . . . . . . . . . 14
Step 2 Location of the Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Step 3 Attach the Module to the Vacuum Chamber . . . . . 16
Step 4 Assemble and Connect the Cables . . . . . . . . . . . . 17
Step 5 Calibrate the Conductron Sensor . . . . . . . . . . . . . 23
2.3 Eliminating Radio Frequency Interference . . . . . . . . . . . . . . 23
Chapter 3 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.1 Preparing to Operate the Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.2 Theory of Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
3.3 Set the Micro-Ion Gauge Emission Current Threshold . . . . . 29
3.4 Set the Micro-Ion Gauge Filament Mode . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.5 Turn the Micro-Ion Gauge ON or OFF . . . . . . . . . . . . . . . . 31
3.6 Read Vacuum Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.7 Read the Analog Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
3.8 Degas the Micro-Ion Gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
3.9 Calibrate the Module at Atmosphere . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
3.10 Calibrate the Module at Vacuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
3.11 Process Control Relay Trip Points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
3.12 RS-485 Operation and Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3.13 RS-485 Physical Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3.14 RS-485 Initial Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
3.15 Data Timing and Response . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
3.16 RS-485 Command Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
3.17 RS-485 Command Sets . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.18 RS-485 Commands - Set 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
3.19 RS-485 Commands - Set 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
3.20 RS-485 Error Responses and Display Error Codes . . . . . . . . 57

MKS 356 Micro-Ion Plus Series Specifications

General

Brand	MKS
Model	356 Micro-Ion Plus Series
Category	Control Unit
Language	English