Brooks 8200 - Table of Contents

8200 Compressor Contents
Installation, Operation, and Service Instructions
Brooks Automation 8040353
Revision AA
iii
Contents
Introduction
General. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2
Installation, Operation and Servicing Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3
Safety
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2
Signal Word Descriptions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-3
Safety Shape Descriptions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4
Inspection
The Compressor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-2
Installation
Compressor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
Preparing the Compressor Input-Power Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-2
Final Preparation of Compressor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-8
Connecting the Compressor to the Cold Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4-9
Maintenance Procedures
Scheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-2