EBARA EV-SA20 - Page 69

    エバラドライ真空ポンプ オーバーホール依頼書

PM10U

EBARA
CORPORATION
宛先：
行
TEL No.

FAX No.
＊当社営業担当宛に
FAX
後ポンプに添付の上
御返却下さい。
貴社名
：
部署名：
御氏名：
御住所：
TEL
：
FAX
：
E-mail
：
お願い
弊社における、作業（分解、洗浄など）の人的安全および環境安全の確保のため、弊
社の製品を御返却の際は、お手数ですが、必ずこの用紙で弊社に御連絡頂き、製品に
添付して下さい。
貴社注文書番号、整理番号など：
1.
ポンプ機名
2.
ポンプシリアル番号
3.
付属品の有無
□無 □有（具体的に                  ）
4.
装置名
（装置メーカー名）           （装置モデル名）
5.
ﾌﾟﾛｾｽ名
□
LP-CVD
□
PE-CVD
□
EPI
□
MO-CVD
□
ALD

□
METAL-CVD
 □
OXIDE-ETCH
□
POLY-ETCH
□
ASHING
 □
PVD
□
ION-IMPLANTOR
□
SEM/METROGY
□
L/L
など  □ その他（ ）
＊エッチング、Ｌ／Ｌ等でも、As（ヒ素）を排出する可能性のある場合は、As排出と明記して
ください。
＊Copper（銅）汚染が有る場合は営業に相談してください。
6.
使用ｶﾞｽ名
＊As（ヒ素）等、有毒性のガスを使用されている場合は必ず明記し、ポンプの吸排気口には閉止フラ
ンジを取り付けて下さい。明記なき場合、閉止なき場合はお引取を致しかねます。
7.
電圧・周波数
8.
ﾎﾟﾝﾌﾟ停止時の状況
9.
運転期間
    年  月  日〜    年  月  日
10.
ｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ後の状態
□現状仕様 □改造（手直し）希望（ ）
11.
御返却日／
引取り希望日
    年  月  日  午前  午後
12.
ｵｰﾊﾞｰﾎｰﾙ
御希望納期
年月日 午前 午後
＊ 予備機の有無 （ 有 、 無 ）
13.
備考

Doc.No.7250-S32211Rev.2
Appendix 4 Overhaul/Repair Request form(JPN)