Signaux d'entrée et de sortie pour HAP
Signaux d'entrée
HAP (du robot
vers la source de
courant)
Données d'entrée de la source de courant dans la reproduction du process HAP (Hot
Active Plasma)
N° d'ordre Désignation du signal Plage Activité
E01 Process activé - High
E02 Robot prêt - High
E03 Modes de service Bit 0 - High
E04 Modes de service Bit 1 - High
E05 Modes de service Bit 2 - High
E06 Non utilisé - -
E07 Non utilisé - -
E08 Non utilisé - -
E09 Contrôle gaz - High
E10 Non utilisé - -
E11 Non utilisé - -
E12 Acquitter la panne de source - High
E13 Non utilisé - -
E14 Non utilisé - -
E15 Non utilisé - -
E16 Non utilisé - -
E17 – E24 Numéro de job 0 à 99 -
E25 Non utilisé - -
E26 Non utilisé - -
E27 Non utilisé - -
E28 Impulsions disable - High
E29 Sélection plage d'impulsion Bit 0 - High
E30 Sélection plage d'impulsion Bit 1 - High
E31 Sélection plage d'impulsion Bit 2 - High
E32 Simulation process - High
Courant principal (valeur de consigne) 0 à 65535 (0 à
max.)
-
E33 – E40 Low Byte - -
E41 – E48 High Byte - -
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