Ein- und Ausgangssignale für HAP
HAP Eingangssi-
gnale (vom Robo-
ter zur Strom-
quelle)
Eingangsdaten der Stromquelle im Prozessabbild HAP (Hot Active Plasma)
 
Lfd. Nr. Signalbezeichnung Bereich Akti-
vität
 
E01 Prozess Ein - High
 
E02 Roboter bereit - High
 
E03 Betriebsarten Bit 0 - High
 
E04 Betriebsarten Bit 1 - High
 
E05 Betriebsarten Bit 2 - High
 
E06 Nicht in Verwendung - -
 
E07 Nicht in Verwendung - -
 
E08 Nicht in Verwendung - -
 
       
 
E09 Gas Test - High
 
E10 Nicht in Verwendung - -
 
E11 Nicht in Verwendung - -
 
E12 Quellenstörung quittieren - High
 
E13 Nicht in Verwendung - -
 
E14 Nicht in Verwendung - -
 
E15 Nicht in Verwendung - -
 
E16 Nicht in Verwendung - -
 
       
 
E17 - E24 Jobnummer 0 - 99 -
 
 
E25 Nicht in Verwendung - -
 
E26 Nicht in Verwendung - -
 
E27 Nicht in Verwendung - -
 
E28 Pulsen disable - High
 
E29 Pulsbereichs-Auswahl Bit 0 - High
 
E30 Pulsbereichs-Auswahl Bit 1 - High
 
E31 Pulsbereichs-Auswahl Bit 2 - High
 
E32 Prozess-Simulation - High
 
       
 
  Hauptstrom (Sollwert) 0 - 65535 (0 - max.) -
 
E33 - E40 Low Byte - -
 
E41 - E48 High Byte - -
 
       
 
  Externer Parameter (Sollwert) 0 - 65535 -
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