Bruker Contour GT-K - System Overview; System Components; Safety Precautions; Basic Measurement Modes

Bruker Confidential Information
Contents
Manufacturer Information i
About this Manual ii
General Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ii
Typeface Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ii
List of Figures vi
List of Tables viii
1 System Overview 1
1.1 System Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.2 Safety Precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.3 Basic Measurement Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4 Software Control of the ContourGT-K . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 Basic Operations 8
2.1 Turning On the System & Starting the Vision64 Software . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.2 Closing Vision64 & Turning Off the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.3 Using Vision64’s On-line Help . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.4 Using the Live Video tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.5 Illumination Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.6 Adjusting Focus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.7 Adjusting Lateral Sample Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.8 Adjusting Sample Tip and Tilt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.9 Measurement Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.10 Objectives . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.11 Performing a Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3 Running the Sample Measurement Recipes 19
3.1 About the Example Recipe Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.2 Making a VSI Measurement of a Step . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.3 Making a PSI Measurement of a Mirror . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
4 Calibrating the ContourGT-K System 24
4.1 Scanner Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.2 Reference Surface Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4.3 Magnification Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
iv