Contents
1. Sa
fety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1 Denion of Warnings and Cauons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.2 Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.3 Trained personnel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2. Introducon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.2 Pump controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.3 Operaonal features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.1 Power limit seîž«ng. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.2 Standby speed. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.3 Timer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.4 Analogue output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.5 Automac vent opons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.6 Normal speed seîž«ng. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4 Logic interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.1 Parallel control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.2 Serial control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.3 Serial control with parallel monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.4 Parallel control with serial monitoring or serial conguraon. . . . . 15
2.4.5 Controller conguraon (serial conguraon). . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3. Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.1 General technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.2 Operaon and storage environment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.3 Vent gas specicaon and vent control data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.4 Purge gas specicaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.5 Cooling water. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3.6 Electrical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3.7 Pumping media. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.8 Materials exposed to gases pumped. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
3.9 Logic interface connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.10 Controller connector socket. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.11 Indicator LED's. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
4. Installaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
4.1 Unpack and inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
4.2 Typical installaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.3 Connect to the vacuum system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.3.1 Inlet screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
4.3.2 Mechanical xing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
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