G1 - G9
28
3.2 Installatie van de machine
1. De generator moet binnen op een vlakke ondergrond geplaatst worden en hij moet beschermd worden tegen direct zonlicht, vocht
en stof (Raadpleeg sectie 2.1 van deze gebruikershandleiding v
oor de milieuspecificaties voor generatoren).
Plaats de generatie zo dicht mogelijk bij de to
epassing, maar laat voldoende ruimte vrij voor ventilatie en toegang zoals aangegeven.
Plaats de generator NIET op een manier zodat het moeilijk w
ordt om deze te bedienen of los te koppelen.
2. Zoek de vereiste verbindingspoorten aan de achterkant van de gener
ator, verwijder de afdekplaatjes, en steek de Swagelok-fittings
erin. De configuraties van de inlaat- / uitlaatpoort voor elk model vindt u in tabel 3.3.
De G4-generator is af fabriek ingesteld om gas te leveren aan de MFC-st
ikstofuitlaat. Als deze generator geïntergeerd moet worden
in een systeem met een externe mass flow controller (d.w.z. standa
lone of opgenomen in het toepassingsapparaat), dan moet hij
opnieuw geconfigureerd worden zodat de interne mass flow controller omzeild wordt. Als de generator geherconfigureerd is,
dan zal het gas aan de stikstofuitlaat geleverd worden.
Herconfigureer de generator NIET in dit stadium, omdat de geïnteg
reerde mass flow controller gebruikt moet worden om de
gespecificeerde zuiverheid te verkrijgen. Steek een kogelventiel in de MFC-stikstofuitlaat en laat dit ventiel openstaan.
Verbinding
Grootte van de verbinding (BPS)
LeidingmateriaalG1 G2 G3 G4 G5 G6 G7 G8 G9
Luchtinlaat
1/4"
(Enkel bij optie 0)
Koper of nylon
Luchtuitlaat
van MFC
1/8" 1/4" 1/8" 1/8"
Koper of roestvrij staal
MFC-
stik
stofuitlaat
1/8" 1/4" 1/4" 1/4" 1/8" 1/8" 1/4"
Stikstofuitlaat
1/4"
Afvoeruitlaat
1/8"-1/4"
* De G4-generator heeft twee stikstofuitlaten, waarvan er telk
ens maar één tegelijkertijd gebruikt wordt.
Tabel 3.3
To Next Page