9600 Compressor Installation, Operation and Maintenance Instructions
ii ©2013 Brooks Automation Inc. Pub. No. 8040444, Rev. AA, 01/14/2013 ECO No. 63723
Multiple On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
Multiple Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
Section 2 - Unpacking and Inspection
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Shipping Carton Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Removal from Shipping Carton . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Compressor Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Compressor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Helium "OFF" Condition Pressure Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Shipping Carton Contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Section 3 - Installation
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
Supply and Return Water Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Hard Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Flexible Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Power Cable Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Phase Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
Connecting/Disconnecting Helium Flex Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Connecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Disconnecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Single On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Single Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Multiple On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Multiple Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Section 4 - Operation
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
"OFF" Condition Helium System Pressure Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Compressor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Replacement of Helium Circuit Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Section 5 - Maintenance
Scheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Suggested Maintenance Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
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