Brooks 9600 - Installation Procedures; Introduction to Installation; Water Line Connections; Electrical Connections

9600 Compressor Installation, Operation and Maintenance Instructions
©2013 Brooks Automation Inc. Pub. No. 8040444, Rev. AA, 01/14/2013 ECO No. 63723 iii
Adsorber Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Reducing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Increasing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Adding Helium . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Appendix A: Customer Brooks Automation Technical Support Information
Appendix B - Flow Diagram
Appendix C - Troubleshooting Procedures
Troubleshooting the Compressor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C-1
Technical Inquiries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C-1
Appendix D - Schematic
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . D-1
Index