其他注意事项
安全-39
安全使用注意事项
其他注意事项
注 意
● 关于停电
由于停电、雷击等所致的电源瞬间电压下降，设备中的电脑可能会发生故障，或者 OS
数据会损坏。作为电源瞬间电压下降的对策，建议使用交流式不间断电源等。
关于电源
请确保 SU8700 的供电电源为单相 AC 100 V, 4 kVA, 50/60 Hz（除了安装降压变压器时）
或 AC 115/120/200/208/220/230/240 V, 4 kVA, 50/60 Hz（安装降压变压器时）。
另外，电源应保持连续通电。
接地时，请使用接地电阻为 100Ω 或更小的接地端子。
请勿与其他电源设备共用接地端子。请在地面单独接地。
● 关于漏水检测
标准设备中没有附带漏水检测器。由于冷却水的水质和压力引起的流路系统腐蚀或裂缝，有时会
发生漏水现象。如果无法使用冷水循环装置等，请务必购买并安装供水套件。
除了减压恒流阀外，在紧急情况下利用供水套件的漏水传感器还可以防止大量漏水。
SEMI-S2 选件的设备附带漏水检测器。SEMI-S2 选件设备的漏水检测器如发生错误时，应注意下
列事项。
如检测到漏水时，冷却水将停止供应。
此时有可能发生触电，因此不要靠近设备，而要联系本公司指定的服务工程师。
如有可能，关闭冷却水供应口的总阀。
● 关于冷却水
• 请使用低余氯浓度（0.5ppm 以下）的水作为冷却水。如果余氯浓度高，则在流路系统中引起腐
蚀并导致漏水。另外，建议使用可控制温度的冷水循环系统。
• 至于冷却水量，一个系统需要约 2L/min。
• 冷却水的额定供应压力为 50k～100kPa。
• 请拧紧管件用锥形螺钉（Rc 3/8）， 以 防止冷却水供应口和软管接口脱落。
• 排水口软管应连接在排水沟，并且必须固定牢固，以防止软管从排水沟跳出。如果脱落，可能
会浸水。
• 使用后必须关闭冷却水供应口的主阀。
• 供水和排水软管的材质是软质氯乙烯。软管长期使用会硬化且弹性减弱，所以应定期更换，同
时使用前要检查漏水情况。
• 在冬季冷却水有可能冻结时，请使用含有防冻液的冷水循环装置等。
• 通过设置和管理，使冷却水温度不低于室温 7℃以上。当冷却水温度和室温之间产生 7℃或更高
的温差时，在冷却水通道系统会发生结露。如果在这种状态下长时间使用，冷却的物镜磁路等
关键部件会生锈，有时会导致故障，需要更换整套物镜。
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