ATEQ F670 - Optional Accessories; Calibrated Master Leak

Sheet #683u –Optional Accessories
Version 1.04a User guide ATEQ 6th series Page 1/6
OPTIONAL ACCESSORIES
1. CALIBRATED MASTER LEAK
Calibrated leaks are used to check the instrument’s calibration or to setup the reading in cc/min.
Master leak/flow type with air at 20°C and 1013 hPa
Pressure
A B 5 C D 50 E F G 1000 5000
2 kPa
(20 mbar)
8,2 16 34,7 1,3 2,7 5,8 52
5 kPa
(50 mbar)
8,7 21 41 1,5 3,3 6,8 15 130
15 kPa
(150 mbar)
6,0 13 27 64 2,2 4,7 10 21 47 383
20 kPa
(200 mbar)
8,1 17 37 88 3,0 6,3 14 29 64 505
30 kPa
(300 mbar)
5,8 13 26 57 2,3 4,6 9,8 21 45 99 740
50 kPa
(500 mbar)
10 22 46 1,7 4,1 8,2 17 38 81 176 1198
75 kPa
(750 mbar)
17 36 75 2,8 6,7 13 28 62 132 281 1823
85 kPa
(850 mbar)
19 42 88 3,3 7,8 15 32 73 155 325 2049
100 kPa
(1 bar)
23 51 1,8 4,0 9,5 19 40 90 190 394 2404
200 kPa
(2 bar)
58 2,2 4,6 10 24 46 95 234 486 904 4709
400 kPa
(4 bar)
2,7 6,1 13 27 61 118 233 665 1305 2086 9357
1 MPa
(10 bar)
11 24 51 99 213 394 729 2810 4620 6143
2 MPa
(20 bar)
31 65 134 247 512 916 1661
- 10 kPa
(-100 mbar)
7,8 17 39 78 2,8 6,1 13 28 237
- 20 kPa
(-200 mbar)
7,1 15 31 75 149 5,3 12 24 53 427
- 50 kPa
(-500 mbar)
7,4 15 32 69 163 324 11,3 25 52 112 813
- 75 kPa
(-750 mbar)
9,8 20 42 90 212 418 14,5 29 66 142 991
- 85 kPa
(-850 mbar)
10,6 22 45 97 225 443 15,4 35 70 149 1032
- 95 kPa
(-950 mbar)
11,3 23 47 101 235 462 15,9 36 73 153