Edwards APG200

Contents
1. Saf
ety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.1 Denion of Warnings and Cauons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2 Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2. Introducon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.1 Descripon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.2 Item number and descripon matrix. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3. Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1 Operang and storage condions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2 Manufacturing materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.3 Performance data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.4 Mechanical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.5 Electrical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.5.1 ID resistor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.5.2 Pressure output signal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.5.3 Setpoint. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4. Installaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.1 Unpack and inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.2 Install the gauge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.3 Connect the gauge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.3.1 Connect to the vacuum system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.3.2 Connect to the electrical equipment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.3.3 Maximum cable length. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5. Operaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.1 LED indicator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
5.2 Pressure measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.2.1 APG200 with Log linear with pressure output. . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.2.2 Voltage to pressure conversion for APG200. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
5.2.3 APG200 with non-linear pressure output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
5.3 Gas dependency. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
5.4 Advanced funcons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
5.4.1 Setpoint adjustment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
5.5 Operaon errors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
5.6 Bakeout. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
6. Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
6.1 Atmosphere and vacuum adjustment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
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