8.5 制限値の変更
1 ﾒﾆｭｰ→制限値の記録→制限値の編集→制限値の変更を押します。
2 ソフトキーを使って、変更する制限値を強調表⽰してから
［選択］を押します。
3 ソフトキーを使って、［上限値の設定］（または［下限値
の設定］）を強調表⽰してから［選択］を押します。
4 ソフトキーを使って、適切な値を設定してから［設定］を押
します。
5 必要に応じて、［名⽬値の設定］を強調表⽰し、同じ要領で名
⽬値を変更します。
6 すべての値を変更したら、 ソフトキーを使って［制限値の
保存］を強調表⽰し、［選択］を押して変更を保存します。
8 制限値の設定-モデルT（続き）
9 校正⽅法
校正とは、既知の膜厚値を基に膜厚計を調節して、さまざまな試料で
正確で繰り返し性の⾼い測定値が得られるようにするプロセスです。
表2に、選択できる校正⽅法を⽰します。校正⽅法を選択するには、
メニュー→校正→校正⽅法を押します。
現在選択している校正⽅法を⽰すアイコンが、読み取り値画⾯の右端
に表⽰されます。
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