安全に関する情報
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損なわれる可能性があります。MKS Instruments, Inc. は、顧客側の安全対策の不履行に対して
は一切責任を負いかねます。
勝手に部品を変えたり、本体を改造しないこと
本機器に代用部品を使用したり、不正な改造を加えないでください。すべての安全システムを正しく機能させるた
めの修理やメンテナンスが必要な場合は、本機器を MKS Calibration and Service Center まで戻してください。
修理は必ず専門の修理サービスを利用すること
オペレータは絶対に本機器を分解しないでください。部品の交換や内部の調整は必ず専門の修理サービスを利
用してください。
電流が通じている回路から切断すること
電源ケーブルを接続したままで部品を交換しないでください。特定の状況では、電源ケーブルを取り外した状態
でも危険な電圧が残っている場合があります。感電などの事故を防ぐため、回路に触れる前に必ず電源から切
断し、放電してください。
危険な材料を使用する場合は慎重に機器を使用すること
危険な材料を使用する場合は、使用者は各自の責任の元で適切な安全対策を講じてください。必要に応じて
本機器を浄化してください。また、使用する材料に対するシーリング材の耐久性を確認してください。
機器を浄化すること
本機器を取り付けた後やシステムから取り外す前に、きれいな乾燥ガスで本機器を浄化し、使用した材料を完
全に取り除いてください。
浄化する場合は適切な手順で行うこと
本機器の浄化は換気フードの下で行う必要があります。また、浄化作業を行う人は必ず手袋を着用してください。
爆発の危険性のある環境で機器を使用しないこと
爆発が起きるのを防ぐため、本機器を爆発の危険性のある環境で使用しないでください。ただし、そのような環境
での使用が特別に保証されている場合は除きます。
適切な金具類を使用し、手順に従って金具の締めを行うこと
金具類は本機器の仕様と一致し、機器本来の用途に適合したものである必要があります。金具類の取り付け
や締めは、製造業者の指示に従ってください。
液体の漏れがないよう接続箇所を確認すること
本機器を設定する前に、すべての配管の接続を慎重に確認し、液体が漏れないようにしてください。
安全なインレット圧力で使用すること
定格の最大圧力を超える圧力の下で本機器を絶対に使用しないでください (最大許容圧力については仕様書
を参照)。
適切なバーストディスクを取り付けること
圧力のかかったガスを使用する場合は、万一システムが爆発した場合にシステムの圧力が上昇するのを防ぐため、
真空システムに適切なバーストディスクを取り付けてください。
本機器に異物やゴミが混入しないようにすること
本機器の使用前または使用中に、ほこりやゴミ、繊維、ガラスの破片、金属片などの異物やゴミが混入しないよ
うにしてください。本機器が損傷する可能性があります。
温度調整された機器を十分に温めてから使用すること
温度調整された機器が適切な作動温度にならないうちに使用すると、仕様通りの動作をしないことがあります。
本機器が十分に温まるまでは目盛りをゼロに合わせたり、較正しないでください。
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