106 - MFC/MFM
français
Capteur Inline (types 8626 / 8006; 8716 / 8706)
Ce capteur fonctionne selon le principe de l'anémomètre à film chaud dans le
mode dit CTA
(
C
onstant
T
emperature
A
nemometer)
. Avec ce système, deux
résistances avec coefficients de température définis avec précision sont
directement exposées au flux gazeux, et trois autres résistances hors de ce flux
sont branchées en forme de pont.
La première résistance dans le flux de mesure (R
T
) mesure la température du
fluide, la seconde à faible résistance (R
S
) est chauffée juste suffisamment de
façon à maintenir une surtempérature fixe et prédéfinie par rapport au fluide. Le
courant de chauffage nécessaire à cet effet est une mesure de la chaleur
évacuée par le flux gazeux, et représente la grandeur de mesure primaire.
Un conditionnement approprié du flux au sein du MFC ou MFM et un étalonnage
avec des étalons de débit de haute fidélité garantissent une détermination précise
de la quantité de gaz s'écoulant par unité de temps dérivée du signal primaire.
1)
L'appareil est étalonné dans la position de montage spécifiée dans le questionnaire annexé à la fiche technique.
Les résistances R
T
et R
S
en contact direct avec le fluide du flux principal
garantissent une dynamique très élevée des appareils avec des temps de
réponse de l'ordre de quelques millisecondes lors de variation subite des valeurs
de consigne et instantanée. Grâce à la disposition des résistances sur un support
de verre tangentiel à l'écoulement, le capteur n'est que peu sensible à
l'encrassement.
La plage de mesure du capteur Inline est limitée vers le bas par la convexion
propre dans le canal d'écoulement, qui se manifeste également lorsque la vanne
de réglage est fermée. Par conséquent, un tel capteur ne convient pas pour la
mesure de débits inférieurs à environ 1 l
N
/min.
Le signal de convexion propre dans le canal d'écoulement est tributaire de la
position de montage de l'appareil. Pour atteindre une précision élevée à de faibles
débits, la position de montage devrait être identique à celle spécifiée dans la
commande
1)
. Pour la même raison, la pression de service ne devrait pas trop
diverger de la pression d'étalonnage.
Figure: Schéma de principe du capteur Inline
Capteur avec
électronique
Organe laminant
Préfiltre
Flux gazeux
PID
I
s
R
s
R
T
R
K
R
2
R
1