56 - MFC/MFM
deutsch
Q-Sensor
Regler
Stellglied
p
w
x
y
x
out
x
d
=w-x
Die Sollwertvorgabe (w) erfolgt elektrisch über ein Normsignal oder einen Feldbus.
Der vom Sensor erfasste Istwert (x) wird im Regler mit dem Sollwert verglichen.
Als Stellgröße wird vom Regler ein pulsweitenmoduliertes Spannungssignal an
das Stellglied gegeben. Das Tastverhältnis des Spannungssignals wird entspre-
chend der festgestellten Regelabweichung variiert.
Der Istwert wird darüber hinaus über eine analoge elektrische Schnittstelle oder
einen Feldbus nach außen gegeben und steht dem Anwender für Kontrollzwecke
oder weitere Auswertungen (z.B. Verbrauchsermittlung durch Integration) zur
Verfügung.
Das thermische Messprinzip garantiert, dass die MFC‘s weitgehend unabhängig
von Druck- und Temperaturschwankungen in der jeweiligen Anwendung den
geforderten Massendurchfluss ausregeln.
In den MFM fehlt gegenüber den entsprechenden MFC jeweils die Komponente
Proportionalventil, so dass diese Geräte nur zum Messen des Massendurch-
flusses, nicht aber zu dessen Regelung eingesetzt werden können. Die im Fol-
genden beschriebenen Eigenschaften der anderen Komponenten, insbesondere
der Sensoren, sind identisch mit denen der MFC.
Bild: Komponenten eines Mass Flow Controllers
Allgemeine Funktion
Die MFC der Typen 8626 / 8716 / 8713 / 8712 / 8711 / 8710 sind Kompaktgeräte,
mit denen der Massendurchfluss von Gasen geregelt wird. Sie regeln einen vorge-
gebenen Durchfluss-Sollwert aus, unabhängig von Störgrößen wie Druck-
schwankungen oder zeitlich veränderlichen Strömungswiderständen, z. B. infolge
Filterverschmutzung.
Die MFC enthalten die Komponenten Durchflusssensor (Q-Sensor), Elektronik
(mit den Funktionen Signalverarbeitung, Regelung und Ventilansteuerung) und ein
Proportional-Magnetventil als Stellglied.
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