MFC/MFM - 99
français
MassFlowController (MFC)
type 8626 / 8710 / 8711 / 8712 / 8713 / 8716
MassFlowMeter (MFM)
type 8006 / 8700 / 8701 / 8702 / 8703 / 8706
REMARQUES GENERALES .................................................................................101
Symboles de représentation ...............................................................................101
Utilisation conforme à la destination ...................................................................101
Consignes de sécurité ........................................................................................101
Protection contre des dommages dus à des charges
électrostatiques ...................................................................................................102
Fourniture ............................................................................................................102
Dispositions de garantie ......................................................................................102
DESCRIPTION DU SYSTEME...............................................................................103
Description des types .........................................................................................103
Fonctionnement général .....................................................................................104
Capteurs ..............................................................................................................105
Principe de mesure thermique ........................................................................105
Capteur Inline (types 8626 / 8006; 8716 / 8706) ............................................106
Capteur bypass en technologie "capillary" conventionnelle
(Types 8710 / 8700) ...................................................................................... 107
Capteur bypass en technologie CMOSens®
(types 8713 / 8703 / 8712 / 8702 / 8711 / 8701) ............................................108
Electronique de régulation................................................................................... 109
Vanne proportionnelle ..........................................................................................110
CARACTERISTIQUES TECHNIQES ....................................................................113
Type 8626 / 8006 MASS FLOW INLINE ............................................................114
Type 8710 / 8700 MASS FLOW ....................................................................... 115
Type 8711 / 8701 MASS FLOW CMOSens® ....................................................116
Type 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens® ....................................................117
Type 8713 / 8703 MASS FLOW CMOSens® ....................................................118
Type 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE ............................................................119