58 - MFC/MFM
deutsch
Inline-Sensor (Typen 8626 / 8006 / 8716 / 8706)
Dieser Sensor arbeitet als Heißfilm-Anemometer im sogenannten CTA-Betriebs-
modus
(
C
onstant
T
emperature
A
nemometer)
. Dabei sind zwei direkt im Medien-
strom befindliche Widerstände mit präzise spezifiziertem Temperaturkoeffizienten
und drei außerhalb der Strömung befindliche Widerstände zu einer Brücke ver-
schaltet.
Der erste Widerstand im Medienstrom (R
T
) misst die Fluidtemperatur, der zweite
niederohmigere Widerstand (R
S
) wird stets gerade soweit aufgeheizt, dass er auf
einer festen, vorgegebenen Übertemperatur zur Fluidtemperatur gehalten wird.
Der dazu erforderliche Heizstrom ist ein Maß für die Wärmeabfuhr durch das
strömende Gas und stellt die primäre Messgröße dar.
Eine geeignete Strömungskonditionierung innerhalb des MFC bzw. MFM und die
Kalibrierung mit hochwertigen Durchflussnormalen stellen sicher, dass aus dem
Primärsignal die pro Zeiteinheit durchströmende Gasmenge mit hoher Genauigkeit
abgeleitet werden kann.
1)
Das Gerät wird in der Einbaulage kalibriert, die im Fragebogen im Anhang des Datenblattes angegeben ist.
Der direkte Mediumskontakt der im Hauptstrom befindlichen Widerstände R
T
und
R
S
gewährleistet eine sehr gute Dynamik der Geräte mit Ansprechzeiten von
wenigen Hundert Millisekunden bei plötzlichen Soll- oder Istwertänderungen.
Durch die Anordnung der Widerstände auf einem tangential zur Strömung liegen-
den Glasträger ist der Sensor nur in geringem Maße verschmutzungsanfällig.
Der Messbereich des Inline-Sensors wird durch die Eigenkonvektion im
Strömungskanal, die auch bei geschlossenem Regelventil auftritt, nach unten
begrenzt. Für Geräte, deren Arbeitsbereich sich bis zu Durchflüssen von unter
ca. 1 l
N
/min erstrecken soll, ist er deshalb nicht geeignet.
Das Signal der Eigenkonvektion im Strömungskanal hängt von der Einbaulage des
Geräts ab. Um eine hohe Genauigkeit bei geringen Durchflüssen zu erreichen,
sollte die Einbaulage mit der bei der Bestellung spezifizierten identisch sein
1)
. Aus
dem gleichen Grund sollte der Betriebsdruck nicht zu sehr vom Kalibrierdruck
abweichen.
Bild: Funktionsschema des Inline-Sensors
Sensor
mit Elektronik
Strömungs-
konditionierung
Vorfilter
Gasstrom
PID
I
s
R
s
R
T
R
K
R
2
R
1
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