MFC/MFM - 55
deutsch
Diese Bedienungsanleitung beinhaltet Informationen für folgende MassFlowCon-
troller (MFC) und MassFlowMeter (MFM) aus dem Bürkert-Produktprogramm:
1)
Bitte beachten Sie hierzu den Hinweis zu den Gerätetypen 8626/8006 im Abschnitt
Anschlussbelegung
Typ 8626/8006.
2)
CMOSens
®
ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Sensirion AG (Schweiz)
Typensystematik
SYSTEMBESCHREIBUNG
Typ Art
Endwertebereiche
Q
nenn
(l
N
/min)
bezogen auf Luft / N
2
Sensor Bemerkungen
8626 MFC 25 ... 1500 Inline für Geräte ab
Jan. 2003
1)
8006 MFM 25 ... 1500 Inline für Geräte ab
Jan. 2003
1)
8716 MFC 25 ... 500 Inline
8706 MFM 25 ... 1500 Inline
8713 MFC 0,02 ... 50 Bypass / CMOSens
®2)
8703 MFM 0,02 ... 50 Bypass / CMOSens
®
8712 MFC 0,02 ... 50 Bypass / CMOSens
®
8702 MFM 0,02 ... 50 Bypass / CMOSens
®
8711 MFC 0,02 ... 50 Bypass / CMOSens
®
8701 MFM 0,02 ... 50 Bypass / CMOSens
®
8710 MFC 0,005 ... 1 Bypass / Capillary
8700 MFM 0,005 ... 1 Bypass / Capillary