MFC/MFM - 57
deutsch
Sensor
Thermisches Messprinzip
Die verwendeten Durchflusssensoren arbeiten nach einem thermischen
(anemometrischen) Messverfahren.
Sie messen jeweils das Produkt aus Dichte und Strömungsgeschwindigkeit und
liefern damit ein stoffmengenbezogenes Signal. Dadurch wird die für die meisten
Applikationen relevante Größe Massendurchfluss direkt und ohne zusätzliche
Erfassung von Hilfsgrößen, wie der Dichte, bestimmt und kann im Regler als
Istwert weiterverarbeitet werden
1)
.
Je nach Durchflussbereich und Zielmarkt der Geräte enthalten die einzelnen
Typen Sensoren mit drei verschiedenen Varianten thermischer Durchfluss-
messung. Diese werden nachfolgend in ihrer Funktion und den resultierenden
Eigenschaften kurz beschrieben.
1)
Die üblicherweise zur Messbereichscharakterisierung verwendeten Einheiten „l
N
/min“ oder „m
N
3
/h“ sind zwar
von der Dimension „Volumen / Zeit“, wegen des Bezugs auf einen Normzustand (hier p=1013 mbar und
T=273 K) handelt es sich aber eigentlich um gasartspezifische Massenströme. Diese können (z.B. in „kg/h“)
durch Multiplikation des Normvolumenstroms mit der Dichte des Betriebsgases im Normzustand ρ
N
erhalten
werden.
HINWEIS
Bitte berücksichtigen Sie, dass sich die relativen Empfindlichkeiten für
verschiedene Gase bei den drei Messprinzipien unterscheiden und
eventuell vorliegende Korrekturfaktoren von einem Betriebsgas auf
ein anderes keinesfalls zwischen den Sensorvarianten übertragbar
sind.
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