Inficon Transpector XPR 3+ User Manual

TOC - 4
Transpector XPR 3+ Operating Manual
Chapter 7
Maintenance
7.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 Safety Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2.1 Toxic Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2.2 Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2.3 Electrical Voltages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.3 General Instructions For All Repair Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.4 Maintenance Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4.1 Bakeout of Quadrupole. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4.2 Spare Heating Jacket Part Numbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.5 Repair Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5.1 Tools Required . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5.2 How to Determine if a Filament Kit Replacement is Required . . . . . . . . . . . 7-5
7.5.3 Filament Kit Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-5
7.5.4 How to Determine the Condition of the Ion Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
7.6 Mass Calibration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
7.6.1 Mass Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9
7.7 Pirani Interlock Adjustment Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
7.7.1 INFICON PSG500 Adjustment Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
Chapter 8
Diagnosing Problems
8.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 Symptom-Cause-Remedy Chart . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.3 Communication Problems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
Chapter 9
Bibliography
Chapter 10
Glossary
Chapter 11
Transpector XPR 3+ Accessories and Spare Parts
11.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.2 Transpector XPR 3+ Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.3 Transpector XPR 3+ Spare Parts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.3.1 Preventative Maintenance Parts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.3.2 Replacement Spare Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2

Inficon Transpector XPR 3+ Specifications

General

Brand	Inficon
Model	Transpector XPR 3+
Category	Measuring Instruments
Language	English