Inficon IC6

TOC - 5
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
4.2 Source Set-Up Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.1 Source Navigation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.2 Source Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3 DAC Output Selection Rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
Chapter 5
Material Set-Up
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-1
5.1.1 Material Screen Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-1
5.1.2 Material Definition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.1.3 Material Screen Source Page Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-3
5.1.4 Material Screen Sensor Parameters Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.1.5 Pre/Post Screen Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.1.6 Post Deposit Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15
5.1.7 Deposit Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16
Chapter 6
Process Set-Up
6.1 Process Set-Up Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Overview Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-1
6.3 Curr(ent) Proc(ess) Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-2
6.4 Process Layers 1 - 10 etc. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.1 Layer Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.1.1 Layer Parameter Editing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-3
6.4.1.2 Layer Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5 Special Layer Parameter Features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.5.1 Skip Deposit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
Chapter 7
General Parameters
7.1 General Set-Up Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1
7.2 General Screen Process Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-1
7.3 DACs Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3
7.4 COMM Page Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.5 MESSAGE Page Set-up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
7.6 DATE / TIME Set Up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-7
7.7 TEST Page Set Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-8
7.8 LOCK Page Code Set-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-9
7.9 AUDIO / VISUAL Page Set Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10