Inficon IC6

TOC - 8
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
10.4.35.6 Query Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.7 Update Material Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.8 Query Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-55
10.4.35.9 Update Sensor Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.10 Query Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.11 Update Source Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.12 Query Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-56
10.4.35.13 Update Process Layer Parameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-57
10.4.35.14 Query Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.15 Update Material Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.16 Query Process Name. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.17 Update Process Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.18 Query Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-58
10.4.35.19 Update Input Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.20 Query Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.21 Update Output Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.22 Query Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.23 Update Output Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-59
10.4.35.24 Query User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.25 Update User Message . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.26 Query Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-60
10.4.35.27 Update Logic Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-61
10.4.35.28 Status General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-61
10.4.35.29 Status Layer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.30 Status Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.31 Remote General Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.32 Remote Layer Action . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-62
10.4.35.33 Example for Interpreting Float Responses. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-63
Chapter 11
Applications
11.1 Multiple Sensor Deposition Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.1.1 IC6 Parameters and Corrections for
Multiple Sensor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.2 Trend Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-5
11.2.1 IC6 Parameters Associated with the Trend Analysis Feature . . . . . . . . . . 11-5
11.3 IC6 Cygnus Emulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-6
11.4 IC6 Four & Six Layer (Cygnus Emulation) Configuration . . . . . . . . . . . . . . 11-7
11.4.1 Configure Sensors 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8