Inficon IC6

TOC - 9
IPN 074-505-P1E
IC6 Operating Manual
11.4.2 Configure Sources 1 to 6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-8
11.4.3 Configure six Materials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-8
11.4.4 Configure the Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-9
11.4.5 General Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-9
11.4.6 Logic Functions Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-9
11.4.7 State Descriptions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.4.7.1 NonDepCntl State. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-10
11.4.7.2 Suspend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-10
11.4.7.3 Idle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11-10
Chapter 12
Maintenance and Calibration Procedures
12.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-1
12.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-1
12.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-2
12.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-3
12.5 AutoTuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-5
12.5.1 AutoTune Preparation Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-5
12.5.2 AutoTune Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-8
12.5.3 AutoTune Manual Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-9
12.5.4 AutoTune Tuning Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-10
12.5.5 AutoTune Description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-10
12.6 Determining Cross Talk Calibration
For Co-Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-13
12.6.1 Procedure Set-Up. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-14
12.6.1.1 Cross Talk Calibration Procedural Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-14
12.6.1.2 Cross Talk Calibrate Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-16
12.6.2 Cross Talk Calibration MANUAL display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
12.6.2.1 Function Key Selection Choices. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-17
12.6.3 Cross Talk Calibration CALIBRATE display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-18
12.6.4 Cross Talk Calibration SELECT display. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-19
12.6.4.1 Function Key Selection Choices for
Cross Talk Calibration Select . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-19
12.7 Source Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-20
12.7.1 Source Maintenance Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-21
12.7.1.1 Crucible Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-21
12.7.1.2 Toggle Sensor and Source Shutter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-21
12.7.1.3 Start/Stop Manual Power . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12-21
12.8 System Status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12-22