Inficon Transpector MPH User Manual

TOC - 6
Transpector MPH Operating Manual
6.6.1.2.5 Tuning with Background Gases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-18
Chapter 7
Diagnosing Problems
7.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.2 Symptom-Cause-Remedy Chart . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.3 Communication Problems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-6
Chapter 8
Bibliography
Chapter 9
Glossary
Chapter 10
Transpector MPH Accessories and Spare Parts
10.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.2 MPH Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.3 Transpector MPH Spare Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.3.1 Preventative Maintenance Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.3.2 Replacement Spare Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.3.3 Spare Transpector MPH Electronics Boxes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
10.3.4 Spare Transpector MPH Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-3
Chapter 11
Specifications
11.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.2 Sensor Length (Vacuum Side) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.3 Mass Range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.4 Detector Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-1
11.5 Resolution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.6 Temperature Coefficient. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.7 Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.8 Minimum Detectable Partial Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.9 Zero Blast Interference at Mass 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-2
11.10 Maximum Operating Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.11 Maximum Sensor Operating Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.12 Maximum Bakeout Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.13 Operating Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.14 Power Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-3
11.15 Ethernet Communication Interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-4
11.16 Relay Outputs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11-4

Inficon Transpector MPH Specifications

General

Brand	Inficon
Model	Transpector MPH
Category	Measuring Instruments
Language	English