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Inficon Transpector MPH - Chapter 3: How The Instrument Works; 3.2 Overview; 3.3 The Ion Source; 3.3.1 Choosing the Proper Filament

Inficon Transpector MPH
160 pages
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TOC - 5
Transpector MPH Operating Manual
5.6.1 When to Use Transpector Web UI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
5.6.1.1 Vacuum Diagnostics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
5.6.1.2 Leak Checking . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
5.6.1.3 Remote Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
5.6.2 Generating Shortcuts for Quick Access . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-28
5.6.3 Creating Bookmarks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30
5.6.4 Using Wi-Fi . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-31
5.6.4.1 Why Use Wi-Fi? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-31
5.7 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-31
Chapter 6
Maintenance
6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 Safety Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.1 Toxic Material . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.2 Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2.3 Electrical Voltages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.3 General Instructions For All Repair Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.4 Maintenance Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.1 Bakeout of Quadrupole. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.4.2 Spare Heating Jacket Part Numbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-3
6.5 Repair Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5.1 Tools Required . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5.1.1 Tools for Replacing the Filament Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5.1.2 Tools for Replacing the Ion Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5.1.3 Tools for Replacing the Electron Multiplier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.5.2 How to Determine if a Filament Kit Replacement is Required . . . . . . . . . . . 6-5
6.5.3 Filament Kit Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
6.5.4 Ion Source Removal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-9
6.5.5 Electron Multiplier Replacement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-11
6.6 Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
6.6.1 Mass Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
6.6.1.1 Factory Tuning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-15
6.6.1.2 Selecting Tune Masses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16
6.6.1.2.1 Selecting Masses for Tuning with a
CPM Test Mixture Calibration Reference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-16
6.6.1.2.2 Selecting Masses for Tuning with an
Argon Standard Calibration Reference. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17
6.6.1.2.3 Selecting Masses for Tuning with a User-Supplied Test Mix . . . . . . . . . . . 6-17
6.6.1.2.4 Selecting Masses for Tuning with Process Gases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-17

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