●レーザ干渉計並みの
0.005
µ
m
または
0.01
µ
m
の高分解能と高
精度を
10mm
のワイドレンジで実現。
●コンパクトなボディは装置自体の小型化にも大きく貢献でき、高
精度部品の測定や、高精度位置決め・制御装置の測長センサと
してはもちろん、測定機器類のマスタゲージとしても最適です。
●低測定力仕様もラインアップ
:
用途に応じて低測定力仕様が選
択でき、変形しやすいワークや高機能フィルムなどの測定も可
能です。
●
LGH
シリーズは、専用カウンタとのセット仕様になります。
【
LGH-0510
（
C
）
-B-EH
】
●新開発の超高精度透過型リニアエンコーダ
を搭載し
0.005
µｍ（
5nm
）の高分解能を実現。
●指示精度
0.1
µ
m
を測定範囲
10mm
のワイドレ
ンジで達成。マスターゲージの校正・値付け、
測定機器の基準器に最適です。
■特長
■オプション
■品質保証
LGH
用測定スタンド
No.971750 250,000
円
ダンパ付レリーズ
No.971753 14,000
円
PC
ソフトウェア：
SENSORPAK No.02NGB070 80,000
円
標準付属品
:
検査成績書
オプション
・校正証明書
・トレーサビリティー体系図
単位：
mm
LGH
用測定スタンド
No.971750
高精度を実現する
LGH
用の測定スタンドです。
質量：
23kg
ダンパ付レリーズ
No.971753
質量：
50g
LGH
のスピンドルリフト用のレリーズです。
PC
用ソフトウェア：
SENSORPAK
No.02NGB070
ゲージ取付穴
ø
15H7
25
（
350
）
100
250
ø
50
34
〜
175
300
110
80 270
最大測定範囲
LGH-1010(C)-B-EH : 0~137mm
LGH-0510(C)-B-EH : 0~139mm
測定台 : 石材
【
LGH-1010
（
C
）
-B-EH
】
●新規採用の光電式反射型リニアエンコーダ
を搭載し、
0.01
µ
m
の高分解能、指示精度
0.2
µ
m
、測定範囲
10mm
のワイドレンジを低価格
で実現。
●応答速度が従来製品比
2.8
倍
（
250mm/s
⇒
700mm/s
）に向上、高精度と高速性
を両立しました。
※
PC
と専用カウンタの接続に別途
USB
ケーブル
（
A-B
タイプ）が必要です。
メータ表示や管理図形式での表示、測定データの記録・
保存ができるソフトウェアです。
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