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MKS GE50A - Product Location and Requirements

MKS GE50A
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질량 유량 장치 안전 정보
15
기계 설치를 진행하기 전에 기계의 모든 연관 연결부를 점검해 누출방지 설치가 되었는지
확인하십시오.
안전한 흡입 압력에서 작동하십시오
장치는 절대 정격 최대 압력보다 높은 압력에서 작동해서는 안됩니다(최대 허용 압력에
대해서는 제품 사양을 참조하십시오).
적합한 안전 파열판을 설치하십시오
가압 가스 공급원에서 작동시, 시스템 폭발이 시스템 압력 상승 일으키는 것을 방지하기 위해
적합한 안전 파열판이 진공 시스템에 설치되어야 합니다.
장치를 오염이 없는 곳에 보관하십시오
장치를 사용하기 전이나 사용 중에는 어떠한 종류의 오염 물질도 허용해서는 안됩니다. 먼지, ,
보풀, 유리 조각, 금속 조각과 같은 오염 물질은 영구적으로 장치 손상시킬 있습니다.
온도 제어 장치의 경우 알맞은 시동 시간을 두십시오
온도 제어 장치는 장치 설계 작동 온도와 일치하고 온도에서 안정화될 있도록 충분한
시간을 허용해야만 사양에 맞게 작동합니다. 시동이 완료될 때까지 장치를 영점 설정하거나
보정하지 마십시오.

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