질량 유량 장치 안전 정보
14
안전 절차 및 예방조치
본 기계의 모든 작동 시에 다음의 일반 안전 예방조치를 준수하십시오. 아래 예방조치를
준수하지 않거나 본 매뉴얼의 다른 부분에 있는 특정 경고를 준수하지 않을 경우, 기계
사용 목적의 안전 기준을 위반하는 것이 되며, 장비가 제공하는 보호기능을 손상시킬 수
있습니다. MKS Instruments, Inc.는 고객이 본 요건을 준수하지 않는 경우에 대해서는
어떠한 책임도 지지 않습니다.
부품을 교체하거나 기계를 개조하지 마십시오
교체 부품을 설치하거나 기계에 허가되지 않은 어떠한 수정도 가하지 마십시오. 서비스와 수리가
필요한 경우에는 모든 안전 특성이 유지되도록 기계를 MKS 보정 서비스 센터(MKS Calibration and
Service Center)로 보내주십시오.
자격이 있는 사람에게만 서비스를 받으십시오
작동하는 사람은 기계 겉면을 제거해서는 안됩니다. 부품 교체 및 내부 조정은 자격이 있는 서비스
기사에게만 받으실 수 있습니다.
전류가 통하는 회로에서 분리해 보관하십시오
전원 케이블을 연결한 채로 부품을 교체하지 마십시오. 일부 환경에서는 전원 케이블을 제거한
상태라도 위험 전압이 존재할 수 있습니다. 부상을 방지하려면, 전원을 항상 분리하고 회로를
만지기 전에 회로를 방전시키십시오.
위험한 물질과 함께 작동할 때는 주의를 기울이십시오
위험한 물질이 사용되는 경우, 사용자는 필요시 기계를 완전히 청소하여, 적절한 안전 예방조치를
준수할 책임을 지키고, 사용된 물질이 봉인 물질과 함께 사용해도 무방하다고 보증할 수 있어야
합니다.
기계를 청소하십시오
장치를 설치한 후나 시스템에서 장치를 제거하기 전에는 반드시 깨끗한 건조성 기체로 장치를
완전히 청소하여 이전에 사용된 유량 물질의 모든 흔적을 제거하십시오.
청소 시에는 적절한 절차를 사용하십시오
본 기계는 환기 후드 아래에서 청소되어야 하며, 인체 보호를 위해 장갑을 착용해야 합니다.
폭발성 환경에서 작동하지 마십시오
폭발을 방지하려면, 폭발성 환경에서 작동하도록 특별히 승인받지 않은 경우 본 제품을 폭발성
환경에서 작동하지 마십시오.
적절한 조립부품과 조임 절차를 사용하십시오
모든 기계 조립부품은 제품 사양과 일치해야 하고, 기계의 사용 목적에 부합해야 합니다.
제조업체의 지시에 따라 조립부품을 조립하고 조이십시오.
누출방지 조립부품을 점검하십시오
To Next Page
Loading...
