マスフロー機器の安全に関する情報
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安全なインレット圧⼒で使⽤すること
定格の最⼤圧⼒を超える圧⼒の下で本機器を絶対に使⽤しないでください (最⼤許容圧⼒については仕様書
を参照)。
適切なバーストディスクを取り付けること
圧⼒のかかったガスを使⽤する場合は、万⼀システムが爆発した場合にシステムの圧⼒が上昇するのを防ぐため、
真空システムに適切なバーストディスクを取り付けてください。
本機器に異物やゴミが混⼊しないようにすること
本機器の使⽤前または使⽤中に、ほこりやゴミ、繊維、ガラスの破⽚、⾦属⽚などの異物やゴミが混⼊しないよ
うにしてください。本機器が損傷する可能性があります。
温度調整された機器を⼗分に温めてから使⽤すること
温度調整された機器が適切な作動温度にならないうちに使⽤すると、仕様通りの動作をしないことがあります。
本機器が⼗分に温まるまでは⽬盛りをゼロに合わせたり、較正しないでください。
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