Inficon Transpector MPH - 1.16.1.1 Assembling ConFlat Flanges; 1.16.1.2 Attaching the Sensor to the Vacuum Chamber; 1.16.2 Electronics Module Installation; 1.16.3 Installing Ethernet Communications

TOC - 2
Transpector MPH Operating Manual
1.13.3 Pollution Degree. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.13.4 Operating Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.13.5 Humidity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.14 Computer System Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.15 Software Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
1.16 Hardware Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.16.1 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
1.16.1.1 ConFlat Flanges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
1.16.1.1.1 Assembling ConFlat Flanges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10
1.16.1.2 Attaching the Sensor to the Vacuum Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11
1.16.2 Electronics Module Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14
1.16.3 Installing Ethernet Communications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.16.4 Connecting the 24 V(dc) Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15
1.17 Installing the Pirani Interlock (Optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16
1.17.1 Installing the Pirani Gauge on to the Extension Flange . . . . . . . . . . . . . . . 1-17
1.17.2 Installing the Extension Flange and Sensor onto the Vacuum System . . . 1-17
1.17.3 Connecting the Pirani Interlock Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
1.18 Installing the HPR Calibration Reference (Optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-19
1.18.1 Installing the Calibration Reference on to the Extension Flange . . . . . . . . 1-20
1.18.2 Installing the Extension Flange, Sensor, and Electronics Module . . . . . . . 1-22
1.18.3 Connecting the HPR Valve Control Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-22
1.19 Input/Output (I/O) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-23
1.19.1 Two Digital Inputs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-23
1.19.2 One Status Relay Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-23
1.19.3 One Analog Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-25
1.20 Installing the Heater Jacket Mount Kit (Optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-25
Chapter 2
Connecting Transpector MPH
2.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2 General Networking Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2.1 IP Addresses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2.2 Subnetworking . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3 Transpector MPH IP Address. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3.1 Changing Transpector MPH IP Address . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3.1.1 Using the INFICON Mass Spectrometer Search Utility to Change the
IP Address . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.3.1.1.1 IMSSU Capabilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.3.1.2 Changing the Computer IP Address. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1.2.1 Windows 7 Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7