Ulvac GI-M2 - Page 62

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Fig. 9-9 LOG output
P: Pressure value （Torr）
V: Measured output voltage （V）
P=10
(V/2-7)
（Torr）
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
1.0E-06 1.0E-05 1.0E-04 1.0E-03 1.0E-02 1.0E-01 1.0E+00
Output Voltage (V)
Pressure (Pa)
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
1.0E-08 1.0E-07 1.0E-06 1.0E-05 1.0E-04 1.0E-03 1.0E-02
Output Voltage (V)
Pressure (Torr)