Ulvac GI-M2 - 17 Related Drawings; On Gauge

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17. 16BRELATED DRAWINGS
17.1.73BIon gauge
Fig. 17-1 Dimensional drawing・panel cut drawing
（Front panel）
(Side panel)
（Panel cut）
(Rack-mount)
(Fan)
or
（Rear panel）
（Max dimension)
（Main body)
（Main body)