Edwards nEXT nEXT85 - Table of Contents

Contents
1. Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1 Denion of Warnings and Cauons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.2 Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2. Introducon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.2 Motor controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.3 Operaonal features. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.1 Power limit seng. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.2 Standby speed. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.3 Timer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3.4 Analogue output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.5 Automac vent opons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.6 Normal speed seng. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.3.7 Electronic braking. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4 Logic interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4.1 USB interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.2 Parallel control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.3 Serial control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.4.4 Serial control with parallel monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.4.5 Parallel control with serial monitoring or serial conguraon. . . . . 16
2.4.6 Motor controller conguraon (serial conguraon). . . . . . . . . . . . 16
3. Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.1 General technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.2 Operang and storage condions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
3.3 Vent gas specicaon and vent control data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
3.4 Purge gas specicaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
3.5 Cooling water . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.6 Electrical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.7 Pumping media. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
3.8 Materials exposed to gases pumped. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3.9 Logic interface connector. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
3.10 Motor controller auxiliary connector socket. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
3.11 Indicator LEDs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
3.12 Pump performance data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
4. Installaon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.1 Unpack and inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.2 Connect to the vacuum system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
4.2.1 Remove and replace the inlet screen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
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