STP-iXA2205 Series Turbomolecular Pump
!"#$%&'% &&C% *++,-%&./%
0
SERIAL COMMUNICATION PROTOCOL
%
Pump operation mode Value
M-#4<@<4"A% &%
!"%M-#4<@<4"A% 7%
6==-?-8@<4"A% C%
!"8>@?% E%
Q-=-?-8@<4"A%Oc8@N-P% 0%
6,<"<-+<% S%
2,A4AG% `%
2,A4AG%T">9?-<-% (%
W1K+<->%B-+-8#@<4"AY% )I%&'I%&&%
2@J?-%CS%.%3,>9%"9-8@<4"A%>":-%
d[@>9?-k%
3,>9%"9-8@<4"A%>":-% k%'&
/-[
%j%&%j%M-#4<@<4"A%
2/-%A,>J-8%"F%-88"8% k%'7
/-[
%j%7%-88"8+%
d88"8%&% k%'Q
/-[
%j%&C%j%Q4+<,8J@A=-%5/%
d88"8%7% k%'R
/-[
%j%&0%j%Q4+<,8J@A=-%5J%
d88"8%C%<"%(&% k%''
/-[
%j%!"%-88"8%:-<-=<-:%
%
3@8@>-<-8% &% 7% C% E% 0% S% `% (% )% &'% &&%
61T**% '% &% ' 7% '% Q% ' R ' ' ' ' ' ' ' ' ' '% '% '% '% '
_d5% C'% C&% C' C7% C'% EE% C' ES C' C' C' C' C' C' C' C' C' C'% C'% C'% C'% C'
%
3@8@>-<-8% &7% &C% S(% S)% `'% `&% `7% `C% `E% `0%
61T**% '% '% ' '% '% ' ' ' ' ' ' ' ' ' ' '% '% '% '% '
_d5% C'% C'% C' C'%
WH>4<<-:Y%
C' C' C' C' C' C' C' C' C' C' C' C'% C'% C'% C'% C'
%
3@8@>-<-8% `S% ``% `(% `)% ('% (&% (7%
61T**% '% '% ' '% '% '% ' ' ' ' ' ' ' '
_d5% C'% C'% C' C'% C'% C'% C' C' C' C' C' C' C' C'
%