STP-iXA2205 Series Turbomolecular Pump
!"#$%&'% ^% ())*+%&,-%
INTRODUCTION
&%
X$% F17+5%91*7/"2%31=+3%
.-/)% 31=+3% /2)75*97)% "4+517"5)% )"% 1)% 2"7% 7"% +c4")+% 7-+% 4*04% 7"% <17+5$% `1/3*5+% 7"% 6"% )"% 01E%
5+)*37%/2%12%+3+975/9%)-"9S%"5%6101B+%7"%+P*/40+27$%
%
`/B*5+%X%,%F17+5%91*7/"2%31=+3%
%
^$% H"717/"213%6/5+97/"2%/2)75*97/"2%31=+3%
.-/)%31=+3%6+)95/=+)%7-+%5"717/"213%6/5+97/"2%":%7-+%A.>%4*04$%.-+%A.>%4*04%5"717+)%/2%7-/)%
6/5+97/"2$%
%
`/B*5+%^%,%H"717/"2%/2)75*97/"2%31=+3%
%
%