STP-iXA2205 Series Turbomolecular Pump
!"#$%&'% &7C% *++,-%&./%
0
SERIAL COMMUNICATION PROTOCOL
d[@>9?-k%
3,>9%"9-8@<4"A%>":-% k%'&
/-[
%j%&%j%M-#4<@<4"A%
Z6B!*!\%J-4AG%:-<-=<-:% k%'''T
%/-[
%j%'''E
/-[
%HB%''('
/-[
%j%
%eZ6B!*!\k%R48+<%Q@>@G-%M4>4<e%@A:%
%eZ6B!*!\k%*>J@?@A=-%5b_e%
2/-%A,>J-8%"F%-88"8% k%'7
/-[
%j%7%-88"8+%
d88"8%&% k%'Q
/-[
%j%&C%j%Q4+<,8J@A=-%5/%
d88"8%7% k%'R
/-[
%j%&0%j%Q4+<,8J@A=-%5J%
d88"8%C%<"%C7% k%''
/-[
%j%!"%-88"8%:-<-=<-:%
%
%
3@8@>-<-8% &% 7% C% E% 0% S% `% (% )% &'%
61T**%
'% &% ' '% '% T% ' 7 ' Q ' R ' ' ' ' ' '% '% '% '% '
_d5%
C'% C&% C' C'% C'% EC% C' C7 C' EE C' ES C' C' C' C' C' C'% C'% C'% C'% C'
%
3@8@>-<-8% &&% &7% &C% &E% &0% `'% `&% `7% `C% `E%
61T**%
'% '% ' '% '% '% ' ' ' ' ' ' ' ' ' '% '% '% '% '
_d5%
C'% C'% C' C'% C'% C'% C' C' C' C'
WH>4<<-:Y%
C' C' C' C' C' C'% C'% C'% C'% C'
%
3@8@>-<-8% `0% `S% ``% `(% `)% ('% (&% (7%
61T**%
'% '% ' '% '% '% ' ' ' ' ' ' ' ' ' '
_d5%
C'% C'% C' C'% C'% C'% C' C' C' C' C' C' C' C' C' C'
%