Keysight B1505A User’s Guide, Edition 12
Contents
Available Application Test List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21
I-V and Capacitance Measurements Using N1272A . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
Preparing Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24
System Configuration and Open/Short Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . 5-26
Preparing Capacitance Measurement Setups . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27
Performing Capacitance Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-28
Preparing IV Measurement Setups . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-29
Performing IV Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30
Available Application Test List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-31
Temperature Controlled by Thermal Plate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-33
Preparing Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-33
Preparing Temperature Control and Measurement Setups . . . . . . . . . . 5-35
Performing Temperature Control and Measurement . . . . . . . . . . . . . . . 5-37
Available Application Test List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-38
Temperature Controlled by ThermoStream . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39
Preparing Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39
Preparing Temperature Control and Measurement Setups . . . . . . . . . . 5-41
Performing Temperature Control and Measurement . . . . . . . . . . . . . . . 5-43
Available Application Test List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-44
Using Multiple HVSMU Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-45
HVSMU Output Range. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-45
Setting Output Range Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-46
Performing Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-46
Available Application Test List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-46