高電圧感電注意
Keysight E5260/E5270 の Force、Guard、Sense 端子には、危険電圧が出力されることが
あります（
HPSMU の場合は最大 ±200 Vdc、MPSMU/HRSMU の場合は最大 ±100 Vdc）。
感電事故防止のため、必ず以下の事柄を守ってください。
•3 極電源ケーブルを使用して本器を接地してください。
• ドアを開くことによって開放されるインターロック回路を装備し、被測定デバ
イスとのインタフェースを覆うことのできるシールド・ボックスを用意してく
ださい。
• 測定を開始する前にはインターロック回路を本器の Interlock 端子に接続してく
ださい。
• インターロック機能が正常であることを定期的に確認してください。
•Force、Guard、Sense 端子に繋がる接続部に触れる前には、本器の電源を切断し
てください。また、測定系のキャパシタを放電してください。電源を切らない
場合は、以下の事項を全て実施してください。
• OutCh、On/Off キーを押して Output インジケータが消灯したことを確認して
ください。
• 高電圧警告（HIGH VOLTAGE）インジケータが消灯していることを確認してく
ださい。
• シールド・ボックスのドアを開けてください（Interlock 端子を開放してくだ
さい
）。
• キャパシタが SMU に接続されているならば、キャパシタを放電してくださ
い。
• 周囲のほかの作業者に対しても、高電圧危険に対する注意を徹底してください。
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