Inficon Transpector CPM - Page 10

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Transpector CPM Operating Manual
Chapter 8
Diagnosing Problems
8.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 Communication Problems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.3 CPM Symptom—Cause—Remedy Chart . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.4 If You Cannot Resolve Your Problem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
8.5 Event Log Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-9
Chapter 9
Recommended Parts List
9.1 Ordering Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.2 CPM Consumable Parts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.3 Preventative Maintenance Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
9.4 Replacement Spare Parts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-3
Chapter 10
FabGuard Explorer Operation
10.1 Operation (FabGuard Explorer) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.2 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-1
10.3 Connecting to Transpector CPM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-2
10.4 RGA Configuration—CPM tab . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-4
10.4.1 Valves and Orifices pane . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.4.1.1 Inlet LP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.4.1.2 Inlet HP. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.4.1.2.1 Inlet HC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.4.1.2.2 Inlet Bypass . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-5
10.4.1.2.3 Inlet Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
10.4.2 Gauges pane . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
10.4.2.1 Process Gauge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-6
10.4.3 Bypass Delay - Interlock between V2 and V4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-7
10.5 CPM Configuration Monitor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-8
10.6 CPM Sensor Acquisition Defaults . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
10.6.1 What to Acquire (RGAs). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
10.6.1.1 Acquisition Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-12
10.6.1.1.1 Spectrum Mode Acquisition Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-14
10.6.1.2 Selected Masses Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-15
10.6.1.2.1 Existing Masses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-16
10.6.1.2.2 Adding Masses. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-17
10.6.2 How to Acquire (CPM) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-20
10.6.2.1 Ionizer Presets . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10-21